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Opsens光纖傳感器在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用

發(fā)布日期：2021-06-15

       Opsens光纖傳感器固有優(yōu)異的抗EMI/RFI性能，是高輻射，高電壓等惡劣環(huán)境下應(yīng)用的可靠解決方案，Opsens可提供光纖溫度、壓力、應(yīng)變、線性位移、力和負(fù)載等傳感器，適用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的各種測試，檢測和監(jiān)測應(yīng)用。

       Opsens團(tuán)隊(duì)與半導(dǎo)體研究人員一起為半導(dǎo)體關(guān)鍵應(yīng)用提供堅(jiān)固和精確的OEM溫度監(jiān)控方案。Opsens基于砷化鎵(GaAs)技術(shù)的光纖溫度傳感器是沉積室或射頻等離子刻蝕中半導(dǎo)體晶圓制造過程表面溫度測量的理想選擇,提供高精度和可重復(fù)性。我們堅(jiān)固的傳感器對射頻和電磁干擾完全免疫,不受光纖彎曲,光纖移動和光學(xué)連接點(diǎn)的影響,因此可以給晶片提供高精度和高可靠性原位溫度測量。與熱敏電阻和熱電偶不同,光纖傳感器不受很多嚴(yán)苛環(huán)境的影響。

       應(yīng)用:晶片溫度監(jiān)控,靜電夾頭設(shè)備溫度監(jiān)控,射頻等離子刻蝕處理室的溫度監(jiān)控。

       Opsens微小的GaAs感應(yīng)晶體固定在光纖頂部,適合頂部測量應(yīng)用。OTG-A與Opsens 所有的SCBG信號解調(diào)器兼容,具有光纖傳感器的固有優(yōu)勢。在很多不利條件下,如高電磁,射頻和高電壓,OTG-A提供史無前例的重復(fù)性和可靠性。OTG-A標(biāo)準(zhǔn)測溫范圍是-40℃—250℃,依據(jù)客戶要求可高達(dá)350℃。OTG-P光纖溫度傳感器包含一個(gè)不銹鋼套管(或陶瓷套管,在很多不利的操作環(huán)境下得到最大限度保護(hù)。